Badania wg norm: PN-EN ISO 1463
Pomiary mikroskopowe grubości warstw wierzchnich (azotowanych, nawęglanych, hartowanych, itd.) i powłok można przeprowadzić za pomocą pomocą następujących metod: pomiar za pomocą oprogramowania komputerowego, użycie do pomiaru wkładek okularowych z podziałką, wykorzystanie przystawek okularowych dedykowanych do pomiaru długości (najczęściej za pomocą mikrotwardościomierza). Najszybszy pomiar prowadzony jest za pomocą cyfrowej przystawki okularowej do pomiaru długości, ponieważ umożliwia ona pomiar na obrazie widocznym bezpośrednio w okularze mikroskopu a wynik jest widoczny na wyświetlaczu. W przypadku użycia podziałek okularowych operator musi zliczać podziałki skali oraz przeliczyć otrzymaną wartość w zależności od użytego powiększenia co sprawia, że metoda jest bardzo pracochłonna. Zaletą pomiaru za pomocą oprogramowania komputerowego jest możliwość analizy na wcześniej zarejestrowanych obrazach, a sama mikrofotografia z naniesionymi pomiarami stanowi dokumentację badania. Podczas przeprowadzania grubości warstw wierzchnich bardzo ważna jest poprawna preparatyka metalograficzna ponieważ zaokrąglenie powierzchni zgładu oraz nieprostopadła płaszczyzna cięcia próbki wpływają na zafałszowanie pomiarów.